表面微放電等離子體特性參數(shù)計算及介質(zhì)片性質(zhì)的影響

摘要： 表面微放電（SMD）在不同的領域有著越來越廣泛的應用。為了深入理解其放電特性及介質(zhì)片性質(zhì)的影響，基于放電物理過程及SMD特有的放電結構，建立了等效電路模型，并聯(lián)立Boltzmann方程求解器求解電子連續(xù)性方程，得到氣隙電壓、等離子體電阻及電子密度等特性參數(shù)。結果表明，對于同一種類不同厚度的介質(zhì)片，功率相同時的放電面積及各特性參數(shù)一致，對于不同種類的介質(zhì)片，介電常數(shù)較大的介質(zhì)片下... （共10頁）