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基于SAW-IDT無(wú)損表征互連薄膜楊氏模量的研究

傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 8 2024-11-15
摘要： 探究了一種利用聲表面波叉指換能器(SAW-IDT)無(wú)損表征low-k互連薄膜楊氏模量的方案。采用有限元法對(duì)不同工作頻率的SAW-IDT進(jìn)行建模，研究SAW-IDT所激勵(lì)的聲表面波在不同厚度的二氧化硅薄膜以及l(fā)ow-k薄膜表面?zhèn)鞑サ奶匦?。利用傾斜疊加法計(jì)算聲表面波在薄膜表面?zhèn)鞑サ念l散曲線并與理論頻散曲線匹配，對(duì)不同厚度的二氧化硅薄膜和low-k薄膜的楊氏模量進(jìn)行了表征。仿真結(jié)果表... （共8頁(yè)）

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