斜入射高衍射效率雙層衍射光學(xué)元件優(yōu)化方法

摘要： 針對雙層衍射光學(xué)元件傳統(tǒng)優(yōu)化方法斜入射時衍射效率偏低的問題，基于雙層衍射光學(xué)元件衍射效率與入射角度及波長的理論關(guān)系模型，提出了角度優(yōu)化設(shè)計方法。通過分析設(shè)計過程中不同入射角和微結(jié)構(gòu)高度對衍射效率的影響，優(yōu)化選取微結(jié)構(gòu)高度，顯著提高了大視場下的衍射效率。為了驗證上述理論，采用長短波衍射效率相等法、帶寬積分平均衍射效率最大法以及提出的角度優(yōu)化設(shè)計方法，分別對可見光波段和紅外波段的雙... （共6頁）