多頻磁場耦合的絕對式平面二維時柵位移傳感器

摘要： 針對增量式平面二維時柵位移傳感器上電需找零的問題，設計了一種基于多頻磁場耦合的絕對式平面二維時柵位移傳感器，其采用不同頻率分時驅動激勵電信號，降低傳感器電路功耗的同時，使X,Y方向的信號解耦合二維絕對位置解算更加簡單可靠。首先，建立激勵線圈磁場分布數學模型，根據空間磁場分布特性分析激勵線圈寬度與耦和氣隙高度的關系；基于差動結構的增量式二維時柵位移傳感器結構，建立對極數互質結構的... （共21頁）