碳基射頻電子器件研究進展

摘要： 碳作為自然界中含量豐富的元素，其多樣的同素異形體促進著社會科技不斷發(fā)展。特別在半導(dǎo)體領(lǐng)域，金剛石、石墨烯以及碳納米管憑借其超高的載流子遷移率和獨特的能帶結(jié)構(gòu)，在高頻、高功率甚至電力電子等方面有著巨大應(yīng)用前景。本文綜述了近年來碳基材料（金剛石、石墨烯和碳納米管）在射頻電子器件方面的研究進展，包括材料制備、特性分析、射頻電子器件工藝和成果等。最后，列舉了目前碳基材料在射頻方面所面臨... （共18頁）